单晶炉的构成 提拉头：主要由安装盘减速机籽晶腔划线环电机磁流体籽晶称重头软波纹管等其他部件组成?副室：主要是副室筒以及上下法兰组成?炉盖：副室连接法兰，翻板阀，观察窗抽真空管道组成?炉筒：包括取光孔?下炉筒：包括抽真空管道?底座机架：全铸铁机架和底座?坩埚下传动装置：主要由磁流体电机坩埚支撑轴减速机软波纹管立柱上下传动支撑架导轨等部件组成?分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管，若干胶管水管卡套等?氩气管道布置：质量流量计3根以上的柔性管不锈钢管3个压力探测器高密封性卡套等部件?真空泵已经真空除尘装置：油压真空泵水环真空泵过滤器真空管道硬波纹管等?电源以及电控柜：电源柜滤波柜控制柜以及连接线

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备，全称为单晶硅直拉法生产炉，简称为单晶炉，

单晶炉是一个极其复杂的机构，它不仅有加热熔硅、保温和恒温、等速平稳旋转以及等速提拉的功能，而且还有控制单晶硅等径生长、保证生产出的单晶硅不出现位错缺陷以及良好的真空度和氩气保护的功能。